什么是VUV?
将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里,施加电压进行放电,原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe2*)。
172nm単一波长紫外光所在波普位置
紫外线清洗光源
将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里,施加电压进行放电,原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe2*)。
UV清洗的原理
我们采用的独特技术,使清洗效果更加卓越,实现:瞬间点灯、灭灯、不使用水银;低温处理、高光能量、无损伤等诸多优点。
VUV清洗的效果
成清洗效果达到前所未有的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度;原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。更洁净,更纯净。
VUV的清洗原理
我们采用的独特技术使清洗效果更加卓越,实现:瞬间点灯、灭灯、不使用水银;低温处理、高光能量、无损伤等诸多优点。
在对象物表面,进行切断、吸收分解与结合。
切断
切断有机物分子:172nm光子能量切断有机物分子的结合(表面改质・硬化)
CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’
吸收与分解
被氧吸收和分解:172nm被氧吸收,生成活性氧和臭氧,臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)
结合
氧化分解为亲水基:被切断了化学结合的原子和活性氧结合,氧化分解、挥发后,生成亲水基 CO2, H2O, OH-
VUV清洗效果
趋势图
低压水银洗净比较
接触角特性
照射距离:3mm;灯数:2根;搬送速度:1000㎜/min
照射距离:3mm;灯数:1根;搬送速度:1000㎜/min
我司灯管特色
精湛工艺,国际水准
我司灯光特色
订制有效长度
有效长度:150~1700㎜(可根据要求制作)。
可独立控制
灯管独立控制功能(开关,照度控制)。
专利技术
照射面无电极(专利技术)。
无氮处理
可以在无氮气条件下处理。
RF放电
RF放电(最高:200Mw/cm2以上)。
超高照度
超高照度(最高:200Mw/cm2以上)。
主要用途
清洗,表面改质
贴合前处理
涂布前处理
涂布前处理
表面清洗
电镀前,蚀刻前处理
液晶,FILM基板结合部
连接区,焊接孔洗净
硬化,结晶化
薄膜形成
润滑油硬化
纳米印刷