紫外线清洗光源

什么是VUV?
将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe₂*)。
UVB频谱位置
VUV频谱位置
172nm単一波长紫外光所在波普位置
紫外线清洗
紫外线清洗光源
将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe₂*)。
UV清洗的原理
我们采用的独特技术，使清洗效果更加卓越，实现：瞬间点灯、灭灯、不使用水银；低温处理、高光能量、无损伤等诸多优点。
VUV清洗的效果
成清洗效果达到前所未有的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。更洁净，更纯净。
VUV的清洗原理
我们采用的独特技术使清洗效果更加卓越，实现：瞬间点灯、灭灯、不使用水银；低温处理、高光能量、无损伤等诸多优点。
流程图
在对象物表面，进行切断、吸收分解与结合。
三大步骤
除去有机物，增加表面的活性化、亲水化；工件的粘着性和紧密性大幅度提高；UV清洗是不会破坏表面以及不会形成腐蚀孔的无损伤清洗方式。

1
切断
切断有机物分子：172nm光子能量切断有机物分子的结合(表面改质･硬化)
CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’
2
吸收与分解
被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)
3
结合
氧化分解为亲水基：被切断了化学结合的原子和活性氧结合，氧化分解、挥发后，生成亲水基 CO2, H2O, OH-
VUV清洗效果
清洗效果达到前所未有的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。一尘不染，洁净如新。
趋势图

低压水银洗净比较

趋势图

接触角特性

PET薄膜

照射距离：3mm；灯数：2根；搬送速度：1000㎜/min

原片玻璃

照射距离：3mm；灯数：１根；搬送速度：1000㎜/min
我司灯管特色
精湛工艺，国际水准
1. 产品结构图
2. 内部结构图
3. 直接光照射
4. 产品外观
我司灯光特色

订制有效长度
有效长度：150～1700㎜（可根据要求制作）。
可独立控制
灯管独立控制功能（开关，照度控制）。
专利技术
照射面无电极（专利技术）。
无氮处理
可以在无氮气条件下处理。
RF放电
RF放电（最高：200Mw/cm2以上）。
超高照度
超高照度（最高：200Mw/cm2以上）。
主要用途
我司的灯管产品广泛运用于：玻璃・薄膜・光掩膜・触摸屏・玻璃・硅胶滚轮・电子产品・塑料・电路板・COG洗净・FPC基板镀镍前处理・生成氮化膜・氧化膜・光CVD・HD洗净・改质・绝缘物等用途。
【玻璃・薄膜・光掩膜】
清洗，表面改质
【触摸屏・薄膜・玻璃】
贴合前处理
【硅胶滚轮】
涂布前处理
【硅胶滚轮】
涂布前处理

【电子产品・塑料】
表面清洗
【电路板】
电镀前，蚀刻前处理
【COG洗净】
液晶，FILM基板结合部
【FPC基板镀镍前处理】
连接区，焊接孔洗净
【生成氮化膜・氧化膜】
硬化，结晶化
【光CVD】
薄膜形成
【HD洗净・改质】
润滑油硬化
【绝缘物】
纳米印刷
【其它用途】
我司主要产品

什么是VUV?

将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe2*)。

UVB频谱位置

VUV频谱位置

紫外线清洗

UV清洗的原理

VUV清洗的效果

VUV的清洗原理

流程图

三大步骤

除去有机物，增加表面的活性化、亲水化；工件的粘着性和紧密性大幅度提高；UV清洗是不会破坏表面以及不会形成腐蚀孔的无损伤清洗方式。

切断

吸收与分解

结合

VUV清洗效果

清洗效果达到前所未有的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。一尘不染，洁净如新。

趋势图

趋势图

PET薄膜

原片玻璃

我司灯管特色

精湛工艺，国际水准

1. 产品结构图

2. 内部结构图

3. 直接光照射

4. 产品外观

我司灯光特色

订制有效长度

可独立控制

专利技术

无氮处理

RF放电

超高照度

主要用途

我司的灯管产品广泛运用于：玻璃・薄膜・光掩膜・触摸屏・玻璃・硅胶滚轮・电子产品・塑料・电路板・COG洗净・FPC基板镀镍前处理・生成氮化膜・氧化膜・光CVD・HD洗净・改质・绝缘物等用途。

【玻璃・薄膜・光掩膜】

【触摸屏・薄膜・玻璃】

【硅胶滚轮】

【硅胶滚轮】

【电子产品・塑料】

【电路板】

【COG洗净】

【FPC基板镀镍前处理】

【生成氮化膜・氧化膜】

【光CVD】

【HD洗净・改质】

【绝缘物】

【其它用途】

我司主要产品

将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe₂*)。