原理分解
分解总图
流程图
在对象物表面，进行切断、吸收分解与结合。
三大步骤
除去有机物，增加表面的活性化、亲水化；工件的粘着性和紧密性大幅度提高；UV清洗是不会破坏表面以及不会形成腐蚀孔的无损伤清洗方式。
1、切断
切断有机物分子
172nm光子能量切断有机物分子的结合(表面改质･硬化)
CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’
2、吸收与分解
被氧吸收和分解
172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)
3、结合
氧化分解生成亲水基
被切断了化学结合的原子和活性氧结合，氧化分解、挥发后，生成亲水基 CO2, H2O, OH-
