• 紫外光整体清洗解决方案

    产品介绍

  • 1. UV照射单元

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    UV照射单元

  • 1.2 参考规格

    灯管

    Xe (氙气)EUV灯管

    波长

    172mn

    灯管数

    根据实际要求配置

    有效发光长

    300mm~2500mm

    照度(標準)

    70mW/c㎡ 以上 *1

    照度(高照度)

    120 mW/c㎡ 以上 *1

    照度 (内管水冷高照度)

    170 mW/c㎡ 以上 *1

    照度均一性

    ±10%以内

    备注1:

    照度为大气中管面测定,点灯开始时的照度

  • 1.3 产品类别

    MEUT

    标准照度,水冷方式(电源,灯罩)

    MEUTA

    标准照度,空冷方式

    MEUTH

    高照度,水冷方式(灯罩)

    MEUTW

    大面积照射装置

    MEUTH-WC

    水冷高照度,水冷方式(电源,灯罩,内管电极)

  • 2. 磁性滚轮搬送

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    磁性滚轮搬送

  • 2.2 参考规格

    灯管

    Xe (氙气)EUV灯管

    波长

    172mn

    灯管数

    3根(可根据实际要求配置)

    有效发光长

    550mm

    照度(標準)

    70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度(高照度)

    120 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度 (内管水冷高照度)

    170 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度均一性

    ±10%以内

    载台尺寸

    700×700mm(可以根据实际要求设计)

    照射距离调整功能

    2mm~5mm

    处理速度

    0.1~5m/min(通过触摸屏设定)

    N2流量计

    有(根据实际要求调整)

    CDA流量计

    有(根据实际要求调整)

    排气设备

    排气风机

    臭氧感应器

    选配件

    臭氧分解器

    选配件

  • 3. 滚轮表面改质

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    滚轮表面改质

  • 3.2 参考规格

    灯管

    Xe (氙气)EUV灯管

    波长

    172mn

    灯管数

    2根(可根据实际要求配置)

    有效发光长

    330mm

    照度(標準)

    70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度(高照度)

    120 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度 (内管水冷高照度)

    170 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度均一性

    ±10%以内

    同时处理数量

    4根(可以根据实际要求设计)

    照射距离调整功能

    2mm~5mm

    处理速度

    0.1~5m/min(通过触摸屏设定)

    N2流量计

    有(根据实际要求调整)

    CDA流量计

    有(根据实际要求调整)

    排气设备

    排气风机

    臭氧感应器

    选配件

    臭氧分解器

    选配件

  • 4. 一体化照射机

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    一体化照射机

  • 4.2 参考规格

    灯管

    Xe (氙气)EUV灯管

    波长

    172mn

    灯管数

    1根(可根据实际要求配置)

    有效发光长

    330mm

    照度(標準)

    70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1

    照度均一性

    ±10%以内

    同时处理数量

    4根(可以根据实际要求设计)

    照射距离调整功能

    2mm~5mm

    处理速度

    0.1~5m/min(通过触摸屏设定)

    N2流量计

    有(根据实际要求调整)

    CDA流量计

    有(根据实际要求调整)

    排气设备

    排气风机

    臭氧感应器

    选配件

    臭氧分解器

    选配件