紫外光整体清洗解决方案
产品介绍
1. UV照射单元
UV照射单元
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1.2 参考规格
灯管
Xe (氙气)EUV灯管
波长
172mn
灯管数
根据实际要求配置
有效发光长
300mm～2500mm
照度（標準）
70mW/c㎡ 以上 *1
照度（高照度）
120 mW/c㎡ 以上 *1
照度 （内管水冷高照度）
170 mW/c㎡ 以上 *1
照度均一性
±10%以内
备注1：
照度为大气中管面测定，点灯开始时的照度
1.3 产品类别
MEUT
标准照度，水冷方式（电源，灯罩）
MEUTA
标准照度，空冷方式
MEUTH
高照度，水冷方式（灯罩）
MEUTW
大面积照射装置
MEUTH-WC
水冷高照度，水冷方式（电源，灯罩，内管电极）
2. 磁性滚轮搬送
磁性滚轮搬送
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2.2 参考规格
灯管
Xe (氙气)EUV灯管
波长
172mn
灯管数
3根（可根据实际要求配置）
有效发光长
550mm
照度（標準）
70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度（高照度）
120 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度 （内管水冷高照度）
170 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度均一性
±10%以内
载台尺寸
700×700mm（可以根据实际要求设计）
照射距离调整功能
2mm～5mm
处理速度
0.1～5m/min（通过触摸屏设定）
N2流量计
有（根据实际要求调整）
CDA流量计
有（根据实际要求调整）
排气设备
排气风机
臭氧感应器
选配件
臭氧分解器
选配件
3. 滚轮表面改质
滚轮表面改质
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3.2 参考规格
灯管
Xe (氙气)EUV灯管
波长
172mn
灯管数
2根（可根据实际要求配置）
有效发光长
330mm
照度（標準）
70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度（高照度）
120 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度 （内管水冷高照度）
170 mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度均一性
±10%以内
同时处理数量
4根（可以根据实际要求设计）
照射距离调整功能
2mm～5mm
处理速度
0.1～5m/min（通过触摸屏设定）
N2流量计
有（根据实际要求调整）
CDA流量计
有（根据实际要求调整）
排气设备
排气风机
臭氧感应器
选配件
臭氧分解器
选配件
4. 一体化照射机
一体化照射机
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4.2 参考规格
灯管
Xe (氙气)EUV灯管
波长
172mn
灯管数
1根（可根据实际要求配置）
有效发光长
330mm
照度（標準）
70mW/c㎡ 以上 (大气中・管面照度) *1
照度均一性
±10%以内
同时处理数量
4根（可以根据实际要求设计）
照射距离调整功能
2mm～5mm
处理速度
0.1～5m/min（通过触摸屏设定）
N2流量计
有（根据实际要求调整）
CDA流量计
有（根据实际要求调整）
排气设备
排气风机
臭氧感应器
选配件
臭氧分解器
选配件
