什么是Vuv

将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，

原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe₂*)

E + Xe → e + Xe*

Xe* + Xe + Xe → Xe₂* + Xe

被激发出来的的激元分子(Xe₂*)回到原本的状态(基底)时发出172nm単一波长的

紫外光。172nm光子能量比大多数的物质分子结合能量要大。出现光子能量比

分子结合力大的时候，仅通过光子的作用就能切断分子。