• 什么是Vuv

  • 什么是VUV?

     

    将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里,施加电压进行放电,

     

    原子激化与其他原子结合产生分子。这样产生的分子称作Excimer(Xe2*)

     

    E + Xe → e + Xe*

     

    Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe

     

    被激发出来的的激元分子(Xe2*)回到原本的状态(基底)时发出172nm単一波长的

     

    紫外光。172nm光子能量比大多数的物质分子结合能量要大。出现光子能量比

     

    分子结合力大的时候,仅通过光子的作用就能切断分子。

  • Excimer激发过程

    激发过程与波谱分析

    (图)172nm紫外光

    被激发出来的的激元分子(Xe2*)回到原本的状态(基底)时发出172nm単一波长的紫外光

    (图)VUV频谱位置

    172nm単一波长紫外光所在波普位置