（UVES-2000）
搭载了UV灯管光源、曝光光学镜头、曝光载台的光刻胶评价用的开放式专用曝光装置。
可以简单的测量光刻胶的敏感度。
曝光方式：step曝光
曝光位置：最多25处
曝光区域：10mm×10mm
对应波长：i线、g线、h线、Krf、broad band
滤波片：BDF（band pass filter）
用 途：Eth测量、 ABC参数计算、out gas测量
Eth测量（完全曝光的最小曝光量）
outgas测量(option)
搭载了UV灯管光源、曝光光学镜头、曝光载台的光刻胶评价用的开放式专用曝光装置。
可以简单的测量光刻胶的敏感度。
曝光方式：step曝光
曝光位置：最多25处
曝光区域：10mm×10mm
对应波长：i线、g线、h线、Krf、broad band
滤波片：BDF（band pass filter）
用 途：Eth测量、 ABC参数计算、out gas测量
